1-همترازی 4 قسمت اصلی دستگاه که مستقیم روی دقت تولید ماسک تاثیر بسزایی دارند.2- ستون اپتیکی با ایجاد نوری تخت و یکنواخت3-اضافه کردن سامانه تنظیم ارتفاع لنز با دقت یک میکرون |
1- استفاده از ستون اپتیکی منحصر بفردبرای ایجاد یک نور کاملا یکنواخت.
2-ایجاد سامانه ای که در آن لنز دستگاه جهت تنظیم ضریب کوچک سازی قابل حرکت داشته باشد.
3-همترازی دقیق هلدر ماسک، نمونه و لنزها و لامپ