دستگاه لیتوگرافی روی سطوح تخت و دوار

-قابلیت لیتوگرافی سطوح غیر مسطح
-عدم محدودیت فیکسچر مخصوص
-نوردهی محلول های شیمیایی
-ایجاد طرح هایی با MFS=2um
-قابلیت تنظیم زمان برای فوتورزیست های مختلف و تنظیم مراحل مختلف
-ایجاد طرح های عمیق روی فوتورزیست های مثبت تا 100 میکرون ارتفاع
-قابلیت نصب فیکسچرهای مختلف بر طبق نیاز مشتری
-دارای سطح نوردهی به قطر 12 سانتیمتر
-شدت لامپ 100 وات با طول موج 365 نانومتر با توان 10mW/cm2

• انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت تماسی
• انجام تمام پروژه های حوزه میکرو و نانو
• انجام پروژه های ساخت سنسورها و ادوات حوزه MEMS
• انجام فرایند های که نیاز به نوردهی ماورابنفش است.
• قابل اجرای فرایند برای فتورزیست های مثبت و منفی