ماسک الاینر دوطرفه رومیزی(طرح جدید)

این دستگاه یکی از کاملترین و پر کاربردتریت دستگاه های فوتولیتوگرافی محسوب می‌شود که در زمینه های مختلف کاربرد دارد:
1- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت تماسی Proximity Lithography
2- انجام مراحل لیتوگرافی نوردهی به صورت پروگزمتی Proximity Lithography
3- انجام مراحل انطباق چندین ماسک اپتیکی هم به صورت رو و هم به صورت پشت نمونه ها ( انطباق دوطرفه) Double side aligning (FS and BS mode)
4- انجام تمام پروژه های حوزه میکرو و نانو
5- انجام پروژه های ساخت سنسورها و ادوات حوزه MEMS
6- انجام فرایند های که نیاز به نوردهی و تریتمنت با نور ماورابنفش است
7- اجرای فرایند لیتوگرافی برای فتورزیست های مثبت و منفی SU8

sample size:1-2-4 inch-
mask size holders:default :1-2-4 inch and 3 optional size-
sample handling mechanism:manual-
mask handling mechanism:semi-auto-
light source:[wave length:355-375 nm ,intensity:100 W, beam size:12 cm-diameter]-
exposing mechanism:auto-
minimum feature size:2-3 um-
alignment mode:[double side;aligning,mechanism(BS and FS mode)-

aligning resolution:10 um-
XY movement:+-7.5-