دستگاه تطبیق ماسکهای اپتیکی (ماسک الاینر رومیزی)

1- انجام فرایند لیتوگرافی تماسی
2- انجام فرایند انطباق چند طرح و الگو روی یک نمونه
3- انجام فرایند نوردهی پلیمرها و کیورینگ

Sample size :1-2-4 inch
Mask Size holders(effective mask size): Default: 1-2-4-inch and 3 optional size
Sample handling mechanism: manual
Mask handling mechanism:manual
Light source:[Wavelength (nm);355-375 nm (max: 365 nm)--Intensity:100W--Beam size:10cm-diameter]
Exposing mechanism: AUTO
Minimum Feature Size (MFS):3-4 um
Alignment mode:Double Side Aligning mechanism (BS and FS mode)
Back Side Alignment and movements:Single camera- one axis
Aligning resolution :10 um
XY-movement :±7.5mm
Z-Movement:12 mm
Rotation- Movement:±7.5 degree
Top side Inspection: Optical Microscope or Digital Microscope (20-40-60-80 X)
Proximity Control :none
Microscope area:10*10cm
Structure Size:  (Width, Length, Hight) (cm*cm*cm):90*70*60
Hardware:SSco (KGN Smart System)-software
Software:SSco (KGN Smart System)-software